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2023-06-04 发布于四川
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读数头和位移测量系统及位移测量方法.pdf

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本发明公开了一种读数头和位移测量系统及测量方法。该读数头包括离轴抛物面镜、第一偏振元件、第二偏振元件以及偏振分光元件，入射到该读数头的光经过该离轴抛物面镜后射向光栅尺，并经该光栅尺衍射后产生正一级衍射光和负一级衍射光，该正一级衍射光经过该离轴抛物面镜反射后射向该第一偏振元件并产生第一线偏振光，该负一级衍射光经过该离轴抛物面镜反射后射向该第二偏振元件并产生第二线偏振光，该第一线偏振光和该第二线偏振光在该偏振分光元件相遇。本发明的光只需要经过一次光栅尺即可实现位移测量，提高了读数头传导到信号处理端的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112683175 B (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202011391427.0 (56)对比文件 (22)申请日 2020.12.02

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