一种磁控溅射薄膜的纯钛靶材备管的制备方法.pdfVIP

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2023-06-04 发布于四川
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一种磁控溅射薄膜的纯钛靶材备管的制备方法.pdf

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本发明公开了一种磁控溅射薄膜的纯钛靶材备管的制备方法，包括以下步骤：选用海绵钛原料，经过烘烤，用油压机将海绵钛原料压制成电极块，在真空焊箱内组焊电极；采用真空自耗电弧炉对海绵钛原料熔炼两次制备铸锭；将制得的铸锭经二火次镦拔锻造得到钛圆棒；对钛圆棒进行机械加工获得光滑匀称的棒材；将制得的棒材用二辊斜轧穿孔制成管坯；去除管坯内外表面氧化皮及钛表面污染层；对制得的管坯进行多道次拉伸扩径；采用五辊冷轧机对处理后的管坯进行多次冷轧轧制；将成品管材进行真空退火处理；对制得的成品管材去毛刺、切头尾、定尺；将制

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112676374 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011410460.3 (22)申请日 2020.12.04 (71)申请人安徽宝泰特种材料有限公司

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