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2023-06-04 发布于四川
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一种浸液供给回收装置.pdf

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本发明涉及一种浸液供给回收装置。本发明包括内基体和外基体，内基体环绕于末端物镜的径向外侧，外基体环绕于内基体的径向外侧；内基体和外基体之间具有间隙或隔离物；外基体位于衬底上方，与衬底形成第三间隙；内基体向末端物镜与衬底之间的间隙提供浸液；外基体从第三间隙中抽取浸液。本发明改善浸液供给回收装置的振动特性，保证曝光质量。由于通常密封抽排口距离衬底最近，尺寸精度要求高，而且密封抽排口容易性能衰退，使用本发明的内基体和外基体相对隔离的方案，可以对内基体采用较低精度的加工工艺以降低浸液供给回收装置的制造成

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112684665 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011561033.5 (22)申请日 2020.12.25 (71)申请人浙江启尔机电技术有限公司

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