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用于高通量离子束处理的萃取装置以及系统.pdfVIP

用于高通量离子束处理的萃取装置以及系统.pdf

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    在一个实施例中，提供一种用于萃取多个离子束的离子萃取光学器件。所述离子萃取光学器件可包括萃取板，所述萃取板界定切口区域，所述切口区域沿第一方向伸长。所述萃取装置可包括可滑动插入件，所述可滑动插入件被设置成与所述切口区域重叠，且能够相对于所述萃取板沿所述第一方向可滑动地移动，其中所述可滑动插入件及所述切口区域界定第一开孔及第二开孔。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112689882 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 201980059434.X (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理

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