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2023-06-04 发布于四川
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一种基于半导体功率器件和模块的系统.pdf

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本发明适用于半导体功率器件技术领域，提供了一种基于半导体功率器件和模块的系统，通过设置半导体晶圆测试模块、动态测试模块、瞬态测试模块、工况测试模块、机器视觉可使晶圆加工自动化，实现精度校准，检测接合制动垫和探针针尖，并测量晶体结构的关键尺寸。动态测试模块用于通过在线进行大批量功率器件的动态特性数据的收集并进行动态特性的筛选和表征，对生产质量进行把关以及设计性能的验证；瞬态测试模块用于得出芯片和器件不同组成部分的性能。工况测试模块可以采集同一工况下半导体功率器件的电压、电阻和电感参数。本发明可以充

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112666441 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 202011545220.4 (22)申请日 2020.12.24 (71)申请人张家港迪源电子科技有限公司

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