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2023-06-04 发布于四川
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本发明实施例公开了一种颗粒分选装置。该颗粒分选装置包括：液滴形成模块、液滴分流模块、分流液滴收集模块以及分流液滴监测模块；所述液滴形成模块用于形成多个液滴；所述液滴分流模块用于调整所述液滴的运动轨迹；所述分流液滴收集模块用于收集分流后的所述液滴；所述分流液滴监测模块用于对投射到探测区域的探测光的光强进行探测，根据探测结果确定所述探测光被分流后的所述液滴的遮挡状态，并根据所述遮挡状态监测所述液滴的分流状态。本发明实施例的方案提高了液滴分选结果的监测精度和监测效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112683760 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011522599.7 (22)申请日 2020.12.21 (71)申请人上海微电子装备(集团)股份有限公

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