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本发明提供一种基于氧化物薄膜晶体管的像素结构、X射线探测器及其制备方法，像素结构包括：基板、氧化物薄膜晶体管、可见光传感器及辅助保护结构，辅助保护结构设置在氧化物薄膜晶体管上方与氧化物薄膜晶体管之间通过隔离层相隔开，且至少覆盖有源层的边缘。本发明通过引入辅助保护结构设计一种新型像素结构，可以有效保护薄膜晶体管器件，减少光电传感器成膜和高温制程等劣化薄膜晶体管的漏电流，减少后续制程对薄膜晶体管电性影响，可以有效改善可见光传感器制备中氢原子对氧化物薄膜晶体管的影响，实现氧化物薄膜晶体管低的漏电流和器
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112687715 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202011589422.9
(22)申请日 2020.12.29
(71)申请人 上海奕瑞光电子科技股份有限公司
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