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各种实施例的多个方面涉及传感器装置及其方法。一种示例传感器装置包括电容器和传感器电路系统。电容器包括具有第一电极的第一基板、具有第二电极的第二基板、以及电介质层。电介质层具有布置成图案的多个孔，第一电极和第二电极被电介质层隔开并且相对于彼此具有重叠区域。传感器电路系统被耦合到电容器，并且被配置成且被布置成用于基于从以下至少一项导出的电容的变化来检测施加于传感器装置的法向力和剪切力：第一电极与第二电极之间的距离、以及第一电极和第二电极的重叠区域。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112673338 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 201980057701.X (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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