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一种熔融石英元件的损伤阈值预测方法.pdfVIP

一种熔融石英元件的损伤阈值预测方法.pdf

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    本发明提供了一种熔融石英元件的损伤阈值预测方法包括：提供一待测熔融石英元件；测量所述待测熔融石英元件的荧光信号和拉曼散射信号；基于所述荧光信号，获取缺陷荧光峰；基于所述拉曼散射信号，获取拉曼散射峰；基于所述缺陷荧光峰的面积和所述拉曼散射峰的面积进行归一化处理；基于归一化处理结果，预测所述待测熔融石英元件的损伤阈值。该损伤阈值预测方法可以无损坏的且快速的预测熔融石英元件的损伤阈值。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112683865 B (45)授权公告日 2022.05.13 (21)申请号 202011470608.2 G01N 21/958 (2006.01) (22)申请日 2020.1

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