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本发明提供被加工物的加工方法和加工装置，能够以高精度加工被加工物。该被加工物的加工方法在对被加工物进行加工时使用，其中，该被加工物的加工方法包含如下的步骤：配置步骤，将被加工物配置于气体中，该气体包含产生与被加工物反应的活性种的物质；测量步骤，对配置于气体中的被加工物的厚度的分布进行测量；以及激光束照射步骤，对气体中的被加工物照射根据通过测量步骤而测量的厚度的分布而调整了功率的激光束，在激光束照射步骤中，对被加工物照射调整了功率的激光束，从而控制被加工物的被照射了激光束的区域通过活性种而被去除的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112658487 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 202011088535.0
(22)申请日 2020.10.13
(30)优先权数据
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