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本发明功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的安装方法属于半导体器件测试技术领域;该方法首先将调整件倒置,将环形磁铁套在接触端上,并旋拧上磁铁固定端,将环形磁铁固定;然后将调整件正置,调整件的接触端旋拧入泄压孔中;再将阀门件倒置,将下方粘贴有密封垫的圆形磁铁放入阀门件的阶梯通孔中;接着将遮挡环安装在阀门件的阶梯通孔中;最后将阀门件正置,将阀门件的连接件旋拧入泄压孔中;本发明功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的安装方法应用于功率器件测试探针卡,能够同时抑制高电压环境下探针之间非正常放电和高温度环境下探
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112649630 B
(45)授权公告日 2022.08.16
(21)申请号 202110032430.1 G01R 35/00 (2006.01)
(22)申请日 2020.07
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