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一种含有天然植物提取物的晶圆切割液.pdfVIP

一种含有天然植物提取物的晶圆切割液.pdf

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    一种含有天然植物提取物的晶圆切割液，属于光电子器件的表面精密加工领域。该切割液中含有天然植物提取物，它是一系列分子结构中具有杂环结构的化合物；杂环结构中具有一个或多个N原子或S原子，此外杂环结构中至少一个C上的H原子被‑NH2,‑NO2,‑CHO或‑COOH官能团取代，能够提高杂环结构中N或S原子的电子密度；使其更易于金属表面的电子结合成键，形成保护膜，抑制半导体晶圆表面的焊盘的电化学腐蚀。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112662460 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 202011598217.9 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人 江苏奥首材料科技有限公司

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