有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种抛光头、化学机械抛光装置和方法。所述抛光头包括主体部，用以夹持晶圆并使所述晶圆的待抛光表面朝下以进行化学机械抛光；其中，在所述主体部上设置有边缘供液回路，所述边缘供液回路用以在化学机械抛光过程中向所述晶圆的边缘提供液体以改变所述晶圆的边缘处的抛光液的浓度。根据本发明的抛光头和化学机械抛光方法，通过在抛光过程中从晶圆的边缘处引入液体，改变晶圆边缘的抛光液浓度，从而控制晶圆边缘的化学机械抛光速率，改善了晶圆在化学机械抛光工艺中的抛光均匀性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112677033 B
(45)授权公告日 2021.12.17
(21)申请号 202011413321.6 B24B 37/34 (2012.01)
您可能关注的文档
- 一种基于负熵增加的多机协同控制方法及系统.pdf
- 一种电化学/臭氧耦合水处理系统.pdf
- 一种生猪养殖用污水净化分离设备.pdf
- 一种应用于并网逆变器控制的DQ旋转坐标系解耦方法.pdf
- 一种基于锁频环稳态线性卡尔曼滤波的UPQC电能质量补偿控制方法.pdf
- 一种3-硝基邻苯二甲酸纯度的检测方法.pdf
- 一种锂电池生产用自动化电极浆料制造方法.pdf
- 一种锂电池生产用自动化电极浆料制造装置.pdf
- 一种安全供油系统及方法.pdf
- 一种设备在线监测与运维管理系统.pdf
- 中国轻骑集团有限公司2023-24年定向招聘历年高频难、易错点模拟试题附带答案题库【达标题】.docx
- 中国西电集团有限公司完整版总部社会招聘补招7人模拟试题（共100题）附带答案内部题库带答案（黄金题型.docx
- 中国西电集团有限公司整理总部社会招聘补招7人模拟试题（共100题）附带答案大全【培优】.docx
- 中国西电集团有限公司总部社会招聘补招7人模拟试题（共100题）附带答案真题题库含答案（培优）.docx
- 中国西电集团有限公司2024年校园招聘62人【重点基础提升】模拟试题附带答案通关秘籍题库带答案解析.docx
- 中国西电集团有限公司2024招聘193人高频考题难、易错点模拟试题附带答案王牌题库及答案.docx
- 中国西电集团有限公司2024年招聘3人高频100题难、易错点模拟试题附带答案题库大全及参考答案（新）.docx
- 中国西电集团有限公司内部使用春季招聘24人高频100题难、易错点模拟试题附带答案通关秘籍题库（考点梳.docx
- 中国西电集团有限公司2024年招聘172人公开引进高层次人才笔试参考题库答案完整题库附答案（能力提升.docx
- 中国西电集团有限公司2024年招聘1人公开引进高层次人才笔试参考题库答案完整版（名师系列）.docx
文档评论（0）