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2023-06-04 发布于四川
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一种高温基片退火架.pdf

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本发明提供了一种高温基片退火架，包括：承载件和第一缠绕件；承载件包括沿着基片周向延伸的第一部分，以及沿着平行于基片轴向的方向延伸的第二部分；第一缠绕件缠绕在第二部分，以在第二部分的表面形成沿着第二部分长度方向分布的夹持槽；第二部分上沿着长度方向设置有至少三个用于固定第一缠绕件的第一凹槽；第一缠绕件的两端与不同的第一凹槽固定时，第一缠绕件的长度改变，夹持槽的宽度随之改变以适配不同厚度的基片。上述的退火架，可以适应于不同厚度基片的退火处理，特别是在需要成对基片材料面对面退火的情况下能有效地固定和弥合

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112687597 B (45)授权公告日 2022.08.05 (21)申请号 202011561782.8 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2020.12

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