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微机械构件和用于微机械构件的制造方法.pdfVIP

微机械构件和用于微机械构件的制造方法.pdf

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    本发明涉及一种微机械构件，具有支架(10)、可调整部件(12)和第一曲折形弹簧(16a)和与第一曲折形弹簧(16a)关于第一对称平面(18)镜面对称地构造的第二曲折形弹簧(16b)，其中，构造有第一致动器装置(24a)和第二致动器装置(24b)，使得借助于所述第一致动器装置(24a)和所述第二致动器装置(24b)能够激励出所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的并且关于所述第一对称平面(18)镜面对称的变形，其中，微机械构件也包括分别沿着旋转轴(32)延伸的第一扭转弹

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112689784 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 201980059926.9 J ·里德里希-莫勒　

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