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本发明提供一种能使接合部的气密性和接合强度提高的共振装置和共振装置的制造方法。共振装置1具备：包含共振子10的MEMS基板50，上盖30，以及接合MEMS基板50与上盖30以密封共振子10的振动空间的接合部60；接合部60包含以共晶合金为主成分的共晶层65，该共晶合金是以铝为主成分的第1金属、锗或硅的第2金属、以及钛或镍的第3金属的共晶合金。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112689957 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 201980060076.4 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限
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