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本发明提供了一种放大型面阵扫频测量装置和方法,属于激光测距技术领域,装置包括可调谐激光器、第一准直器、第一扩束器、第一分束器、镜头、反射元件、相机和采集控制单元;可调谐激光器用于通过发送触发信号,控制相机采集干涉图像,并提供原始光束;第一分束器用于将经准直和扩束后的光束分为第一光束和第二光束,第一光束照射待测被测物体后反射;反射元件用于将第二光束反射形成参考光;镜头用于使干涉图像成像在相机上;相机用于采集第一反射光和参考光干涉形成的干涉图像。本发明取代了传统的点探测采集方式获取表面形貌,避免了点
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112684462 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202011518489.3
(22)申请日 2020.12.21
(71)申请人 武汉
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