- 1、本文档共6页,其中可免费阅读5页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种基于浓硼掺杂的MEMS感压薄膜的制备方法,通过采用浓硼掺杂技术中自停止腐蚀工艺可精准控制薄膜厚度,可制备微米级薄膜,从而提高电容测量重复性,有效保证真空计实际生产制备;同时采用硼硅玻璃去除方案,能够有效去除薄膜表面生成的硼硅玻璃,消除硼硅玻璃造成的杂生电容影响,同时,可有力保证薄膜与玻璃的后续键合工艺品质。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112678765 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202011444277.5
(22)申请日 2020.12.11
(71)申请人 兰州
您可能关注的文档
- 一种玻璃钢化工罐制造成型方法.pdf
- 一种口含烟非靶向分析的高效液相色谱-四级杆飞行时间质谱检测方法.pdf
- 一种计算机网络工程施工用故障检测设备.pdf
- 带隙可调的拉胀声子晶体、应用及减振装置.pdf
- 一种沙漠化土壤治理装置及治理方法.pdf
- 一种石墨烯材料检测装置及其使用方法.pdf
- 一种FD CMOS结构及其制备方法.pdf
- 一种排水管道磁控式辅助疏通装置.pdf
- 一种启动子pCalm1及其应用.pdf
- 一种海绵城市景观用的绿化带雨水收集灌溉系统.pdf
- 基于多元智能理论的高中语文批判性阅读教学实践探索教学研究课题报告.docx
- 2025年药物警戒法规知识题库有答案.docx
- 2025年大学生科技节科普知识竞赛必刷题50题及答案.docx
- 人体的致病微生物.ppt
- 金融理财知识测试:涵盖代理责任、产品销售等多领域题目.docx
- 音乐创作教学中学生自主学习对创新能力的促进研究教学研究课题报告.docx
- 高中语文教学中批判性阅读能力的培养与阅读策略优化研究教学研究课题报告.docx
- 社区公共设施在初中生课余生活文化素养提升中的重要作用教学研究课题报告.docx
- 《在线教育服务平台用户留存与课程内容质量的关系研究》教学研究课题报告.docx
- 初中综合素质评价对学生竞赛心理调适能力的培养教学研究课题报告.docx
文档评论(0)