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2023-06-04 发布于四川
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一种激光诱导等离子体微细加工装置及方法.pdf

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本发明属于微细加工技术领域，公开了一种激光诱导等离子体微细加工装置及方法，所述的装置包括：加工头模块，包括形成加工内腔的加工头主体、位于加工头主体顶部的透明窗口、以及位于加工内腔一侧的内腔通道；激光模块，用于发射激光束，所述激光束通过所述透明窗口聚焦于所述加工头主体的加工内腔中；液体工作介质，通过所述内腔通道进入所述加工头主体的加工内腔，并通过用于通过所述加工头主体出口流出，作用于所述加工头主体下方的工件表面；磁场整形模块，设置在所述加工头主体出口的内壁上，用于在加工头主体在旋转过程中形成磁场；

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112658446 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202011451342.7 (56)对比文件 (22)申请日 2020.12.10

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