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成膜装置、控制装置以及压力计的调整方法.pdfVIP

成膜装置、控制装置以及压力计的调整方法.pdf

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    本发明提供一种成膜装置、控制装置以及压力计的调整方法，能够自动地执行压力计的零点调整。本公开的一个方式的成膜装置具备能够被减压的处理容器、检测所述处理容器内的压力的压力计以及控制部，其中，所述控制部构成为，重复进行包括调整所述压力计的零点的步骤和在所述处理容器内执行成膜处理的步骤的循环，直至当在执行所述成膜处理的步骤之后将所述处理容器内排气至最高到达真空度时由所述压力计检测出的到达压力达到目标范围内为止。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112680718 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011073511.8 C23C 16/44 (2006.01) (22)申请日 2

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