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本公开涉及超微型麦克风。一种MEMS换能器,该MEMS换能器包括换能器基板、对电极以及振膜。对电极联接至换能器基板。振膜大致平行于对电极定向,并且与对电极间隔开以形成间隙。MEMS换能器的后腔容积是位于对电极与振膜之间的封闭容积。在MEMS换能器的音频频带的上限处,对电极与振膜之间的间隙的高度小于后腔容积内的热边界层厚度的两倍。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112689228 B
(45)授权公告日 2022.04.19
(21)申请号 202011103002.5 (51)Int.Cl.
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