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一种基板搬运机器人，相对于在装载口的第一侧与该装载口的开口部结合的基板的载体，经由装载口从与第一侧相反的第二侧通过开口部来进行基板的交接，其中，基板搬运机器人具备：手部，其保持基板；机器人臂，其与手部连结并使该手部位移；拍摄装置，其安装于手部或者机器人臂；以及控制器，其控制机器人臂和拍摄装置的动作。控制器获取由拍摄装置从第二侧拍摄到的包含开口部的周缘和与该开口部结合的载体的拍摄图像，并对拍摄图像进行图像处理，由此检测载体的结合位置相对于规定的基准结合位置的偏差。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112673462 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 201980056597.2 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限
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