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一种研磨液输送模块，包括：超声波单元，用于产生超声波；输送管道，包括入口段、与所述入口段相对的出口段以及位于所述入口段和所述出口段之间的主体段，研磨液经所述入口段流入所述主体段；超声波传导介质，至少包覆所述主体段，所述超声波传导介质用于将所述超声波单元产生的所述超声波传导至所述主体段，从而防止经所述出口段流出的研磨液中的研磨粒子发生团聚；其中，所述输送管道在所述超声波传导介质中呈弯曲式分布。本发明还提供一种化学机械研磨装置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112677032 A
(43)申请公布日
2021.04.20
(21)申请号 20191
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