氮化镓器件特性的调制方法和结构.pdfVIP

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2023-06-04 发布于四川
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氮化镓器件特性的调制方法和结构.pdf

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本发明涉及半导体技术领域，提供一种氮化镓器件特性的调制方法和结构。方法主要包括：对氮化镓器件施加外界电场，外界电场通过逆压电效应耦合作用于氮化镓器件；通过变化外界电场的强度和方向对氮化镓器件的特性进行调制。本发明可以根据氮化镓器件不同的应用场景，通过调整外界电场的强度和方向，对氮化镓器件特性进行特定调制，以适应不同场景下氮化镓器件应用需求，促进氮化镓器件性能的更充分发挥，带动氮化镓器件在宇航、雷达、电子对抗等国防军事领域以及5G、电力电子等民用领域的更有效利用。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112687569 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011575949.6 (22)申请日 2020.12.28 (71)申请人北京东方计量测试研究所