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本发明提供一种硅片智能分选机,其包括:上料装置、检测装置以及下料分选装置;上料装置包括:至少两个上料模组以及平移模组,至少两个上料模组由平移模组带动进行交替上料;检测装置位于上料装置的下游,其包括:检测流线以及沿检测流线设置的多个检测模组;分选装置位于检测装置的下游,其包括:若干下料分选模组,各下料分选模组按照下料输送方向进行组合对接。本发明通过上料装置能够实现硅片的连续高效上料,充分利用硅片料筐装载的作业时间。同时,通过下游的检测装置完成硅片多个项目的检测,充分满足硅片的实际检测需求。同时,在
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112676175 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202011402246.3
(22)申请日 2020.12.04
(71)申请人 苏州
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