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光刻胶成膜树脂及其光刻胶组合物的制备方法.pdfVIP

光刻胶成膜树脂及其光刻胶组合物的制备方法.pdf

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    本发明涉及光刻胶技术领域，公开了一种光刻胶成膜树脂及其光刻胶组合物的制备方法。本发明将衍生自含氟丙烯酸酯单体A、衍生自胆酸单体B和衍生自含脂环丙烯酸酯单体C进行共聚反应，制备光刻胶成膜树脂；该树脂制备的光刻胶不仅抗蚀刻性强，还极大的增加了吸附性和对基板的粘附性，用于193nm浸没式光刻工艺，其最佳分辨率能够达到0.13μm，且图像清晰、边缘粗糙度良好。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112679653 B (45)授权公告日 2021.09.14 (21)申请号 202011577623.7 C08F 220/24 (2006.01)

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