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本发明提供了一种面阵扫频测量装置和方法,属于激光测距技术领域,其中,分束器将汇聚光束分解为反射光和透射光;使用时被测物体反射反射光,形成信号光;反射元件用于将透射光反射;第二二向色镜用于将反射的透射光分解为参考光和宽谱光;光谱仪用于通过分解出的宽谱光,获取光谱信息;相机用于采集信号光和参考光干涉形成的干涉图像;采集控制单元可以根据干涉图像和补偿信息分析被测物体的表面形貌;且根据光谱信息获取振动信息,用以控制压电陶瓷位移台移动,获取补偿信息。本发明通过多个独立散斑的叠加,实现了降低散斑对比度的效果
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112684463 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202011518547.2
(22)申请日 2020.12.21
(71)申请人 武汉
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