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本发明公开了一种三波长相干衍射成像方法,成像过程包括以下过程:采用三种不同波长的激光器照明;出射的激光经过分光棱镜合束;再经过空间滤波器扩束,使激光通过空间滤波器照射在待测样品上;使用成像探测器记录不同波长下的衍射图像的强度信息;将记录的衍射图像强度信息代入基于折射率参量调控的三波长相干衍射成像算法,恢复待测样品的复振幅分布。本发明成像方法与传统多波长相干衍射成像方法相比,考虑了不同波长对样品的折射率差异,以及不同波长引入的相移差异,提高了传统的多波长相干衍射成像方法的准确性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112666129 B
(45)授权公告日 2023.03.31
(21)申请号 202011472190.9 (56)对比文件
(22)申请日 2020.12.14
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