微结构的制备方法、批量观察方法以及观察装置.pdfVIP

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2023-06-04 发布于四川
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微结构的制备方法、批量观察方法以及观察装置.pdf

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本发明涉及一种微结构的制备方法，将微结构制备在盖玻片上，并在盖玻片上同时制备能够分辨盖玻片正反面方向的特殊标记图案。本发明中的微结构的制备方法，在盖玻片上的微结构制备，面积小且薄，方便了其移动、放置，为批量观察微结构提供了基础。特殊标记图案方便后续观察微结构时对盖玻片的准确放置。本发明还涉及一种微结构的批量观察方法，在样品台上放置多个制备有微结构的盖玻片，通过移动样品台实现对微结构的批量观察。该微结构观察方法，提高了微结构的观察效率。本发明还涉及微结构观察装置，为实现前述微结构观察方法提供了设备

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112665935 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 202011488919.1 G01N 21/84 (2006.01) (22)申请日 2

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