一种化学机械研磨方法及其分析系统.pdfVIP

一种化学机械研磨方法及其分析系统.pdf

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本发明公开一种化学机械研磨方法及其分析系统，所述方法至少包括以下步骤：提供一目标晶圆；建立研磨垫整流器的速率修正模型；根据所述修正模型，获得实时调整的研磨垫对所述目标晶圆上不同区域的当前研磨速率。本发明有利于提高晶圆研磨的稳定性和平坦化能力。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112658971 B (45)授权公告日 2021.06.22 (21)申请号 202110281539.9 (56)对比文件

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