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聚合物及光致抗蚀剂组合物.pdfVIP

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    公开了一种聚合物，其包含：含有叔酯酸不稳定基团的第一重复单元；以及具有式(1)的第二重复单元：其中R1至R5是如本文所提供的；R2和R3不一起形成环；每个A独立地是卤素、羧酸或酯、硫醇、直链或支链的C1‑20烷基、单环或多环的C3‑20环烷基、单环或多环的C3‑20氟环烯基、单环或多环的C3‑20杂环烷基、单环或多环的C6‑20芳基、或单环或多环的C4‑20杂芳基，其中的每一个是取代或未取代的；并且m是0至4的整数。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112661877 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 202010976510.8 C08F 220/18 (2006.01)

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