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本发明公开了一种六自由度正交惯性传感器，属于空间精密测量技术领域。为克服传统惯性传感器精度低、结构复杂的技术问题，本发明包括：电极笼组件、置于所述电极笼组件内的测试质量；测试质量可通过静电力驱动方式相对于电极笼框架的中心进行六个自由度运动；电极笼组件设有三组电极，用以同时得到测试质量相对于电极笼组件的位置和角度；测试质量通过静电力实现与电极间的无接触；电连接器通过焊接导线与电极相连；三组电极在X、Y、Z上均相互正交布置。本发明弥补了惯性传感器测量精度不足的问题，同时全金属的电极笼框架结构大幅增加
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112684208 A
(43)申请公布日
2021.04.20
(21)申请号 20191
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