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本发明提供一种劈刀、打线设备及打线方法,所述劈刀包括一锥形部以及一瓶颈部,所述瓶颈部连接于所述锥形部的末端,所述锥形部及所述瓶颈部具有供金属线穿过的线孔,所述瓶颈部的端面与水平面的夹角不大于5度。本发明对打线设备的劈刀进行了改进,将劈刀的瓶颈部设计为矩形,大大降低瓶颈部末端倾角的角度,使得金属球的尺寸大大减小,本发明的金属球的尺寸为140微米~160微米之间,可满足垂直打线工艺对金属线尺寸的要求,有效提高晶圆级封装的集成度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112687573 A
(43)申请公布日
2021.04.20
(21)申请号 20191
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