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非接触式的待测件外形尺寸测量装置.pdfVIP

非接触式的待测件外形尺寸测量装置.pdf

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    本发明提供一种非接触式的待测件外形尺寸测量装置，包括：激光器，作为光源，用以发射光束；衰减器，用以衰减所述激光器发射出的光束的功率；准直扩束透镜组，用以把经过所述衰减器的光束扩散为平行光；载物台，所述载物台是可旋转的，用以放置待测件，使所述待测件位于所述扩散后的平行光束的光路中；电荷耦合元件，用以接收所述平行光束经过所述待测件后的光学影像信息将该光学影像信息转换成数字信号，并将该数字信号传输给计算机，用以计算出所述待测件的外形尺寸。本实施例有效避免了环境因素对测量结果的干扰也提高了电荷耦合元件的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112683192 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 20191

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