一种热电堆红外探测器及其制作方法.pdfVIP

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2023-06-04 发布于四川
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一种热电堆红外探测器及其制作方法.pdf

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本发明公开了一种热电堆红外探测器及其制作方法，涉及探测器技术领域，用于解决热电堆探测器随器件尺寸减小而造成探测器响应率降低的问题。本发明提供一种热电堆红外探测器。该热电堆红外探测器包括热电堆结构，以及位于热电堆结构第一侧的基底和背腔，其中，基底位于热电堆红外探测器的冷端，背腔位于热电堆红外探测器的热端。热电堆结构包括支撑层，以及形成在支撑层上的多层热电偶结构；其中，每层热电偶结构均包括热电偶层以及覆盖热电偶层和支撑层的介质层。热电堆结构还包括互连金属结构，互连金属结构用于将多层热电偶结构进行互连

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112670397 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 202011506956.0 (22)申请日 2020.12.18 (71)申请人江苏

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