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单晶炉及利用该单晶炉制备晶棒的方法.pdfVIP

单晶炉及利用该单晶炉制备晶棒的方法.pdf

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    本发明公开了单晶炉及利用该单晶炉制备晶棒的方法，单晶炉包括：单晶炉本体、石英坩埚、籽晶、第一加热器、第二加热器、导流筒和第三加热器，单晶炉本体内限定出容纳空间；石英坩埚设在容纳空间；籽晶可垂直移动地设在石英坩埚上方且可伸入熔硅中以便直拉长晶得到晶棒；第一加热器设在单晶炉本体内且位于石英坩埚的下方；第二加热器设在单晶炉本体内且环绕石英坩埚的侧壁；导流筒设在石英坩埚上方且环绕晶棒的一部分；第三加热器包括螺旋加热丝、正极脚和负极脚，螺旋加热丝的螺径自上而下减小，螺旋加热丝环绕晶棒且位于石英坩埚和导流筒

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112680784 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 20191

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