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基于电解液约束的超声辅助电化学微纳加工方法.pdfVIP

基于电解液约束的超声辅助电化学微纳加工方法.pdf

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    本发明属于金属微纳加工领域，涉及一种基于电解液约束的超声辅助电化学微纳加工方法。本发明电化学微纳加工方法包含若干周期，每个周期内分为两个工作节拍：电解液约束电解加工和超声辅助振动，其中电解液约束电解加工过程采用充满电解液的微纳米移液管与工件之间构造微纳液滴连接，将电解反应约束在微液滴范围内进行微坑加工。而超声辅助振动过程则在工件表面进行定向超声，对微坑内的电解液进行超声雾化来带走微量电解产物。在加工过程中，两个工作节拍独立工作和脉动切换，在电解加工的同时能够及时清除电解产物，从而提高微纳尺度的电

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112658412 B (45)授权公告日 2022.04.22 (21)申请号 202011295081.4 (56)对比文件

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