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2023-06-04 发布于四川
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一种高绝缘性纳米防护涂层的制备方法.pdf

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一种高绝缘性纳米防护涂层的制备方法，属于等离子体技术领域，该方法中，将反应腔室抽真空度，并通入惰性气体，使基材产生运动，通入单体蒸汽到反应腔室内，开启等离子体放电，进行化学气相沉积，在基材表面化学气相沉积制备高绝缘性纳米涂层，单体蒸汽成分为：至少一种低偶极矩有机物单体和至少一种多官能度不饱和烃及烃类衍生物的混合物，本发明筛选出具有低偶极矩和高化学惰性的有机物单体，通过多官能度单体调控涂层的自由体积和致密性，由于等离子化学气相沉积方法不仅可适用于多种单体，且对形成的涂层的成分与结构的可控性强，可使

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112680722 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011414005.0 C23C 16/52 (2006.01) (22)申请日 2

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