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一种晶圆贴膜机.pdfVIP

一种晶圆贴膜机.pdf

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    本发明涉及机械设备的技术领域，特别是涉及一种晶圆贴膜机，其通过对晶圆进行自动贴膜处理，可提高晶圆贴膜工作的自动化程度，节省人力，简化贴膜方式，提高工作效率，提高实用性和可靠性；包括工作台、四组支腿、两组第一弓形架、圆形导气仓、两组空心轴和第一电机，工作台的左侧设置有上下贯穿的通槽，工作台的顶部右侧设置有薄膜输送装置、薄膜输送装置的前侧设置有推动装置，推动装置的右后侧设置有切割装置，四组支腿的顶部均匀安装在工作台的底部外侧。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112677348 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011432293.2 (22)申请日 2020.12.09 (71)申请人 苏州立科工业设计有限公司

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