供电电路、半导体加工设备和供电控制方法.pdfVIP

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2023-06-04 发布于四川
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供电电路、半导体加工设备和供电控制方法.pdf

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本发明提供一种供电电路、半导体加工设备和供电控制方法，该供电电路包括切换模块、延时模块和开关模块，其中，切换模块用于在伺服模块断电时，将电源与延时模块接通；延时模块用于在通电时开始计时，并在经过第一指定时长之后，将切换模块与开关模块接通，以使开关模块通电；开关模块用于在通电时接收控制器发送的控制信号，并根据控制信号将延时模块与伺服模块接通，以使伺服模块通电，且在经过第二指定时长之后断开；伺服模块在通电后触发切换模块将电源与延时模块断开，同时将电源与伺服模块接通。本发明实施例提供的供电电路、半导体

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112670960 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 202011543645.1 (22)申请日 2020.12.23 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

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