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一种颗粒测量装置及流式细胞分析仪.pdfVIP

一种颗粒测量装置及流式细胞分析仪.pdf

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    本发明实施例公开了一种颗粒测量装置及流式细胞分析仪。该颗粒测量装置包括：光源模块，用于产生入射光并将所述入射光投射到颗粒容纳模块的探测区域；散射光探测模块，用于探测待测颗粒被所述入射光照射后产生的散射光；分析模块，用于根据散射光探测结果确定所述待测颗粒的粒径；散射光增强模块，用于增强被所述散射光探测模块探测到的所述散射光的光强。本发明实施例的方案提高了微小颗粒的尺寸测量精度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112683740 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011520270.7 (22)申请日 2020.12.21 (71)申请人 上海微电子装备(集团)股份有限公

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