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一种OLED掩膜版Open Mask表面LiF材料清洗方法.pdfVIP

一种OLED掩膜版Open Mask表面LiF材料清洗方法.pdf

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    本发明公开了一种OLED掩膜版OpenMask表面LiF材料清洗方法，包括以下步骤：步骤10、固定；步骤20、药水配置；步骤30、超声波振板安装；步骤40、去除膜层；步骤50、溢流超声波清洗；步骤60、脱水；步骤70、干燥。本发明通过对药水类型的选择和比例的控制，能够在不损伤产品本体的情况下使LiF膜层从OpenMask部件表面剥离，从而实现OpenMask部件洗净再生、二次利用的目的。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112676243 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011449274.0 (22)申请日 2020.12.09 (71)申请人 四川富乐德科技发展有限公司

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