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本发明公开了一种利用多磁极磁棒间距控制的自动调节剂量均一性的方法。该方法通过调节2n个磁极磁棒之间的距离来改变磁场分布,本方法包括:测量磁极位置未改变时离子束流初始值J0(1),上下各n个磁极分别设置相同磁棒间距,利用移动法拉第双向测量模式采集每一磁极(可同时采集两个互相不干扰的磁极)对应的离子束流值(2),计算磁极响应与磁棒间距的幅度关系,并利用该关系式迭代计算(3),利用初始束流平均值解超定方程计算出每个磁极的最佳磁棒间距值(4),机台线上验证调试效果(5)。设计多种调节模式,根据当前束流状
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112670147 A
(43)申请公布日
2021.04.16
(21)申请号 20191
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