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一种多个杯子测量离子束流垂直角度的方法.pdfVIP

一种多个杯子测量离子束流垂直角度的方法.pdf

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    本发明公开了一种利用角度法拉第测量离子束流垂直方向整体角度的方法，这种方法通过同时选择7个相同的角度法拉第杯子，利用其栅格上的电流探测器采集终端靶室内的束流，并将得到的流强数据保存，利用发明的算法程序加以拟合，计算出较为准确的垂直角度。本方法可以测量离子束流的垂直方向角度，同时通过采集的数据图像可以直观地、定性地反映离子束流是否稳定，以及垂直方向发散程度；且一次采用7个杯子对束流进行采集，相比单一杯子多次测量，大大节省了测量和计算时间，提高了终端测量效率。本发明涉及离子注入装置及拟合算法，隶属于

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112666593 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 20191

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