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本发明提供了一种晶圆承载装置及其控制方法、装置，涉及制造技术领域。所述晶圆承载装置包括：承片台；转台，承片台固定在转台上；通过转台的转动，转台带动承片台旋转；支撑台，与转台连接；转台能够相对于所述支撑台转动；辅基座，与支撑台连接；主基座，主基座与辅基座间隔设置；其中，在主基座与辅基座相对的第一位置，主基座与辅基座固定连接；在主基座与辅基座相对的第二位置，设置有调整结构；与调整结构相连接设置有驱动结构，通过驱动结构带动调整结构转动，主基座与辅基座在第二位置之间的间隔距离变化。本发明的方案稳定可靠地
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112670231 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 202011470890.4
(22)申请日 2020.12.14
(71)申请人 北京
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