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渐变方阻金属化薄膜蒸镀装置，包括箱体；所述箱体的内部顶部贯穿有金属薄膜主体，所述金属薄膜主体的两端连接牵引机构；所述箱体的侧壁连通真空泵；所述箱体的内部底部安装蒸发机构，所述蒸发机构水平置于所述金属薄膜主体的底部；所述蒸发机构用以将金属剂蒸镀于所述金属薄膜主体上；所述箱体的内部顶部对称设有第一密封机构、第二密封机构；本发明能够对金属薄膜进行除尘、除杂处理，提高金属薄膜与蒸镀材料的贴附效果，提高蒸镀层的均匀性和稳定性；第二密封机构能够对金属薄膜进行冷却降温，使得蒸镀后的薄膜能够被金属冷却，能够有效
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112680711 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202011309243.5 H01G 13/00 (2013.01)
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