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描述了一种用于将辐射束(B)聚焦于量测设备中的衬底的关注的区上的光学系统(400)。所述辐射束包括在软X射线或极紫外光谱范围中的辐射。所述光学系统包括第一反射器系统(410)和第二反射器系统(412)。所述第一反射器系统(410)和第二反射器系统(412)中的每个包括有限至有限沃尔特反射器系统。所述光学系统(400)被配置成在所述关注的区上形成包括所述辐射束(B)的视在源的物体(416)的缩小图像(414)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112740108 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 201980061688.5 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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