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一种垂直半导体肖特基二极管器件(300;400;500;600;700),具有:半导体材料的衬底(101),该衬底具有前表面(101a)和背表面(101b’);轻掺杂区域(102),该轻掺杂区域形成在衬底(101)的面向前表面(101a)的表面部分中,该轻掺杂区域具有第一导电类型;第一电极(111),该第一电极形成在衬底(101)的前表面(101a)上的轻掺杂区域(102)上,以建立肖特基接触;在衬底(101)的背表面(101b’)处的高掺杂区域(140),该高掺杂区域与轻掺杂区域(102)接触
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112740422 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 201980061716.3 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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