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本发明公开一种坩埚清扫设备，包括框架以及安装于框架的运动平台，运动平台上安装有用于夹持坩埚的夹持机构，运动平台侧面设置有沿运动方向依次布置的吹扫平台和刷扫平台，吹扫平台上安装有气嘴，刷扫平台上安装有毛刷，夹持机构能够沿运动平台竖直移动，并使夹持的坩埚开口依次对准毛刷和气嘴。工作过程中将待清扫坩埚放置在夹持机构，通过夹持机构夹紧坩埚，将坩埚运输至刷扫平台位置，通过毛刷进行刷扫，然后将坩埚运输至吹扫平台位置，通过气嘴进行吹扫，最终通过夹持机构将坩埚运出。实现自动化清扫，提升工作效率，不需要人工干预，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112718755 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 202011557324.7
(22)申请日 2020.12.23
(71)申请人 长沙开元仪器有限公司
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