用于真空腔均热板铜片的定位装置.pdfVIP

用于真空腔均热板铜片的定位装置.pdf

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本发明公开了一种用于真空腔均热板铜片的定位装置,包括:定位装置基板、铜片预定位块、铜片载具组件和直线驱动组件;所述铜片预定位块上设有定位凹槽,所述定位凹槽的形状和铜片相适配,所述定位凹槽的深度大于所述铜片的厚度;所述直线驱动组件驱动所述铜片载具组件在所述定位装置基板上直线滑动。本发明的有益效果:先将铜片放入预定位工装的完成定位,再由机械手将铜片抓取到铜片载具,由于铜片在预定位工装上的位置是固定的,即铜片在整个空间坐标系内具有确定坐标,这样机械手将铜片抓取到铜片载具的运动轨迹在整个空间坐标系内具有

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112692495 A (43)申请公布日 2021.04.23 (21)申请号 202110071238.3 (22)申请日 2021.01.19 (71)申请人 苏州佰铮达智能科技有限公司

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